U cijelom lancu industrije poluvodiča prerada i proizvodnja jedna su od najvažnijih karika. S tako velikim tržištem, poluvodička procesna oprema pruža proizvodnu osnovu za proizvodnju poluvodiča velikih razmjera. Ovaj će se rad fokusirati na ono što je glavna oprema u procesu proizvodnje poluvodiča.
1, monokristalna peć
Funkcija opreme: rastopiti poluvodičke materijale, povući monokristal, za kasniju proizvodnju poluvodičkih uređaja, osigurati polukružne poluprovodničke monokristale.
Glavni svjetski brendovi: PVA TePla AG (Njemačka), Ferrotec (Japan), QUANTUM DESIGN (SAD), Gero (Njemačka), KAYEX (SAD).
Glavni domaći brendovi: Peking Jingyuntong, Huaxuang sa sedam zvjezdica, Peking Jingyi Century, Hebei Jinglong Sunshine, Xi' an Jinko Technology, Changzhou Huasheng Tianlong, Shanghai Hanhong, Xi' an Huade, 48. institut of China Electronics Technology Group, Shanghai Shenhe Thermal Magnetic.
2. Epitaksijalna peć u plinskoj fazi
Funkcija opreme: osigurati specifično procesno okruženje za epitaksijski rast plinske faze, realizirati rast tankoslojnih kristala u odgovarajućoj vezi s fazom monokristala na monokristalu, te izvršiti osnovnu pripremu za funkcionalnu realizaciju potonuća monokristala. Epitaksija u plinskoj fazi je poseban proces kemijskog taloženja isparavanjem, u kojem je kristalna struktura tankog sloja za rast nastavak monokristalne podloge i odgovara kristalnoj orijentaciji podloge.
Glavni svjetski brendovi: CVD oprema, GT, Soitec, AS, Proto Flex, Kurt J.Lesker, Primijenjeni materijali.
Glavni domaći brendovi: Kineski institut za elektroničku tehnologiju 48. institut, Qingdao Cerida, Hefei Kojing Material Technology Co., LTD., Peking Jinsheng Micro nano, Jinan Liguan Electronic Technology Co., LTD.
3. Sistem epitaksije sa molekularnim snopom
Funkcije opreme: Sistem epitaksije sa molekularnim snopom, koji pruža procesnu opremu za rast filma na donjoj površini prema specifičnosti; Molekularna epitaksija snopa (MBEA) je tehnika za pripremu monokristalnih tankih filmova. Koristi se za uzgoj tankih filmova sloj po sloj duž kristalne osi podloge pod odgovarajućom podlogom i odgovarajućim uvjetima.
Glavni svjetski brendovi: Riber (Francuska), Veeco (SAD), DCA Instruments (Finska), SVTAssociates (SAD), NBM (SAD), Omicron (Njemačka), MBE-Komponenten (Njemačka), Oxford Applied (UK) Research (OAR ) kompanija.
Glavni domaći brendovi: Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Peking Huidexin Technology Co., LTD., Shaoxing Kuangtai Instrument Equipment Co., LTD., Shenyang Keyou Vacuum Technology Co., LTD.
4. Oksidaciona peć (VDF)
Funkcija opreme: Za oksidacijski tretman poluvodičkih materijala, osigurajte potrebnu oksidacijsku atmosferu, kako biste postigli očekivani dizajn procesa oksidacijske obrade poluvodiča, neophodna je karika u procesu obrade poluvodiča.
Glavni međunarodni brendovi: UK Thermco Company, Njemačka Centrotherm Thermal Solutions GmbH Co.KG kompanija.
Glavni domaći brendovi: Beijing Seven Star Huaxuang, Qingdao Freunde, China Electronics Technology Group 48. institut, Qingdao Xuguang Instrument Equipment Co., LTD., China Electronics Technology Group 45. Institute.
5. Sistem za taloženje hemijskim isparenjima niskog pritiska (LPCVD)
Funkcija opreme: Para koja sadrži plinovito ili tekuće reakcijsko sredstvo koje čini elemente filma i druge plinove potrebne za reakciju uvodi se u reakcijsku komoru LPCVD opreme, a film nastaje kemijskom reakcijom na površini podloge .
Glavni svjetski brendovi: Hitachi International Electric Company,
Glavni domaći brendovi: Shanghai Chijian Semiconductor Technology Co., LTD., Kineska grupa za tehnologiju elektronike 48. institut, Kina 45. grupa za tehnologiju elektronike 45. institut, Tvornica instrumenata u Pekingu, Tvornica strojeva u Šangaju.
6. Poboljšani sistem za taloženje hemijskom parom u plazmi (PECVD)
Funkcija opreme: koristite sjajno pražnjenje u taložnoj komori, učinite ga ioniziranim i provedite kemijsku reakciju na podlozi za taloženje poluvodičkog materijala tankog filma.
Glavni međunarodni brendovi: Proto Flex (SAD), Tokki (Japan), Shimadsu (Japan), Lam Research (SAD), ASM International (Holandija).
Glavni domaći brendovi: 45. institut kineske tehnološke grupe za elektroniku, tvornica instrumenata u Pekingu, tvornica strojeva u Šangaju.
7. Tablica raspršivanja Magnetrona (MSA)
Funkcije opreme: kroz zatvoreno magnetsko polje paralelno s ciljnom površinom u bipolarnom raspršivanju i ortogonalno elektromagnetsko polje nastalo na površini mete, sekundarni elektron je vezan za određeno područje površine mete, kako bi se postigla velika gustoća iona i velika energetskom ionizacijom, a ciljni atomi ili molekuli talože se na podlogu s visokim brzinama raspršivanja kako bi nastali film.
Glavni međunarodni brendovi: PVD Company, Vaportech Company, AMAT Company, Hauzer Company, Teer Company, Platit, Balzers i Cemecon.
Glavni domaći brendovi: Tvornica instrumenata u Pekingu, Shenyang Zhongke Instrument co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., Kineska grupa za elektroničku tehnologiju 48. institut, Kerui Equipment Co., LTD., Tvornica strojeva u Šangaju.
8. Mašina za hemijsko mehaničko poliranje (CMP)
Funkcija opreme: mehaničkim brušenjem i kemijskim otapanjem tekućine&korozija" kombinovanog efekta, poliranje (poluprovodničko) poliranje.
Glavni svjetski brendovi: Applied Materials, Norfa Systems, Rtec.
Glavni domaći brendovi: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., LTD., Alite Microelectronics.
9, aparat za litografiju
Funkcija uređaja: ravnomjerno zalijepite površinu poluvodičke podloge (silikonska pločica), prenesite uzorak na masci na fotootpor i privremeno&kopirajte" uređaj ili strukturu kruga do silikonske pločice.
Glavni međunarodni brendovi: ASML (Holandija), Pan Lin Semiconductor, Nikon, Canon, ABM, SUSS, MYCRO.
Glavni domaći brendovi: Kineska tehnološka grupa za elektroniku 48. institut, Kineska tehnološka grupa za elektroniku 45. institut, Tvornica strojeva u Šangaju, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD.
10. Reaktivni jonski sistem za nagrizanje (RIE)
Funkcije opreme: visokofrekventni napon primjenjuje se između pločastih elektroda za stvaranje ionskog sloja debljine stotina mikrona, a ionski uzorak velike brzine udara stavlja se u uzorak, radi postizanja nagrizanja kemijske reakcije i fizičkog utjecaja, te za postizanje obrade poluvodiča i oblikovanje.
Glavni međunarodni brendovi: Japan Evatech Company, Sjedinjene Američke Države NANOMASTER kompanija, Singapurska kompanija REC, Južna Koreja JuSung kompanija, Južna Koreja TES Company.
Glavni domaći brendovi: Beijing Factory Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., LTD., Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., China Electronics Technology Group četrdeset osmi institut.
11. ICP sistem za nagrizanje plazme
Funkcije opreme: jedan ili više atoma ili molekula plina pomiješanih u reakcijskoj komori, pod djelovanjem vanjske energije (poput radiofrekvencije, mikrovalne pećnice itd.) Kako bi se s jedne strane formirala plazma, aktivna grupa u plazmi i hemijska reakcija površinskog materijala za graviranje, pri čemu nastaju hlapljivi proizvodi; S druge strane, ioni u plazmi se vode i ubrzavaju pod djelovanjem tlaka pristranosti kako bi se postigla usmjerena korozija i ubrzana korozija nagrizane površine.
Glavni međunarodni brendovi: Oxford Instruments (UK), Torr (SAD), Gatan (SAD), Quorum (UK), Leeman (SAD), Pelco (SAD).
Glavni domaći brendovi: Beijing Factory Factory, Beijing Qixing Huachuang Electronics Co., Ltd., Kina 48. institut za elektronsku tehnologiju, Goder ion Technology (Hong Kong) Holding Co., Ltd., Institut za mikroelektroniku, Kineska akademija nauka, North Microelectronics , Beijing Oriental Jicheng Co., Ltd., Peking Trands Weina Technology.
12, mašina za mokro graviranje i čišćenje
Funkcija opreme: Mokro jetkanje je materijal za jetkanje natopljen otopinom za jetkanje za tehnologiju korozije. Čišćenjem se smanjuje zagađenje, koje može utjecati na performanse uređaja, dovesti do problema s pouzdanošću i smanjiti prinos, što zahtijeva temeljito čišćenje prije svakog sloja sljedećeg procesa ili prije sljedećeg sloja.
Glavni međunarodni brendovi: Screen (Japan), SEMES (Koreja), Tokyo Electron (Japan), Lam Research (Amerika).
Glavni domaći brendovi: Nantong Hualin Kona Semiconductor Equipment Co., LTD., Peking Qixing Huaxuang Electronics Co., LTD., China Electronics Technology Group 45th Institute, Taiwan Hongsu.
13. Mašina za jonsku implantaciju (IBI)
Funkcija opreme: dopiranje područja blizu površine poluvodiča.
Glavni međunarodni brendovi: Varian Semiconductor Equipment, Inc., CHA, INC., AMAT, Inc. i Varian Semiconductor Manufacturing Equipment, Inc. (kupio AMAT).
Glavni domaći brendovi: Tvornica instrumenata u Pekingu, 48. institut kineske tehnološke grupe za elektroničku tehnologiju, Chengdu Nanguang Industrial Co., LTD., Shenyang Fangji Light Industry Machinery Co., LTD., Shanghai Silicon Top Microelectronics Co., LTD.
14, sonda za ispitivanje
Funkcija uređaja: Preko kontakta sonde s podlogom poluvodičkog uređaja vrši se električno ispitivanje radi provjere da li indeks performansi poluvodiča zadovoljava zahtjeve dizajna.
Glavni međunarodni brendovi: Njemačka Kompanija Ingun, kompanija za osiguranje kvaliteta, kompanija MicroXact, kompanija Ecopia, kompanija Leeno.
Glavni domaći brendovi: China Electronics Technology Group 45th Institute, Peking Qixing Huachuang Electronics Co., LTD., Ruike Instruments, Huarong Group, Shenzhen Senmei Xieer Technology.
15. Mašina za razrjeđivanje pločica
Funkcija: smanjivanjem debljine pločica poliranjem.
Međunarodni glavni brendovi: Japan DISCO Company, Njemačka G& N company, Japan OKAMOTO company, Israel Camtek company.
Glavni domaći brendovi: Lanzhou Lanxin High-tech Industry Co., LTD., Shenzhen Fonda Brusilna oprema Manufacturing Co., LTD., Shenzhen Jinzhili Precision Brushing Machine Manufacturing Co., LTD., Weianda Grinding Equipment Co., LTD., Shenzhen Huannifeng Technology Co., LTD.
16. Mašina za pisanje pločica (DS)
Funkcija uređaja: Oblatna, izrezana na male komadiće.
Glavni međunarodni brendovi: Njemačka OEG kompanija, Japan DISCO Company.
Glavni domaći brendovi: Kineska tehnološka grupa za elektroniku, Peking kechuang započinjanjem izvora fotoelektrične tehnologije co., LTD., Shenyang institut instrumentacione tehnologije, sjeverozapadna mašina co., LTD., (Tvornica 709) imaju sjeverozapadnu tvornicu mašina, hui sheng electronic tvrtka za elektroničke strojeve i opremu, lanzhou: laser, visokotehnološko industrijsko društvo., LTD., šenžen ruby laser equipment co., LTD., radnik Wu Hansan, zhuhai Lianoptronics, Zhuhai Yuemao Technology.
17. Wire Bonder
Funkcija uređaja: Spojite jastučić na poluvodičkom čipu s jastučić na pinu s provodljivom metalnom žicom (zlatna žica).
Glavni međunarodni brendovi: američki Ottey, njemački TPT, austrijski FK, malezijski UNISEM.
Glavni domaći brendovi: China Electronics Technology Group 45th Institute, Peking Transhijie Technology Development Co., LTD., Yuxin (Chengdu) Integrated Circuit Circuit Packaging and Testing Co., LTD. (Malaysia Yunisan Investment), Shenzhen Kaijiu Automation Equipment Co., LTD.